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ALPHA OMEGA IN SAPPHIRE
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사파이어소재
물성표 / 투과율
물성표
투과율
불꽃감지기(자외선, 적외선 특성)
| 구분 | 자외선 | 적외선 | 관리항목 |
|---|---|---|---|
| 광학사양 | 180nm~260nm | 4㎛~5㎛ | PASS |
| 응답파장 | 185nm~260nm | 4.35㎛ ±0.2㎛ | PASS |
| 표면조도 | Ra 0.01~0.02 | PASS | |
내식성 등 자료
Sapphire vs Quartz 식각률 비교 (반도체 업체 Test 결과 참조)
1. HF에 대한 부식 정도 비교 불산 (HF) 농도 49%에 12시간 담근 후 변화량 측정
| No | 시편소재 | 실험 前 | 실험 後 | 식각률 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Sapphire Rod | 외형 변화 | Ø 9.25 (mm) | Ø 9.25 (mm) | 0 % |
| 무게 변화 | - | - | |||
| 2 | Quartz Rod | 외형 변화 | Ø 9.855 (mm) | Ø8.255 (mm) | 16.2% |
| 무게 변화 | 17.109 (g) | 14.839 (g) | 13.3% | ||
2. 내 Plasma 특성 Ion Milling Rate : Sapphire가 Quartz 대비 1/3 이하의 비율로 침식됨
| No | 시편소재 | Ar + Ion Energy | |
|---|---|---|---|
| 1000 eV | 2000 eV | ||
| 1 | Sapphire Rod | 0.04 | 0.11 |
| 2 | Quartz Rod | 0.13 | 0.40 |